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干式真空泵的应用范围

点击次数:   更新时间:19/12/03 15:52:12     来源:pswxgeek.com关闭分    享:
  原有的机械真空泵普遍存在着工作介质返流的现象,这一现象会影响到产品的品质,让设备的维护变的艰难,但如果使用的是干式真空泵就不会出现这一现象,因此它在多个行业中推广开来。那么它具体都能够应用在哪些领域呢?小编通过下面的文章为大家介绍一下:
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等;
  5、将干式真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  干式真空泵的应用是非常广泛的,但主要还是应于以上几个方面,并且都可以达到理想的使用效果。它的出现无疑为真空行业增添了一抹新的“靓丽风景”,相信凭借其良好的性能,在日后能够为更多的行业所采用。

干式真空泵


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